抗蚀剂设备等半导体制造工艺中，平台的表面温度测量非常重要。
使用安立计器的「温度记录仪 AM-9000系列」和「自重型表面温度传感器　WE系列」可简单的将传感器放置于测量点上，并同时测量记录多个点的温度分布。并且可在电脑上确认图表，进行解析。

AM-9000K
(-200～1370℃)
AM-9000 系列产品是简便型温度记录仪。
可以记忆储存数据于主机。
・使用USB数据线传送数据到电脑
・可利用准用软件「AMS-950」（另售）进行数据解析。

专用解析软件AMS-950（英文版）另售。
・记录数据可转送至电脑制图和制表。
・记录的数据可转换成CSV文档，可利用Excel等自由编辑数据。
・也可转换成XPS文档，以防止数据被串改。

WE-33K-TA1-ANP
温度范围：-50～200℃